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投资者提问:请问公司过去已经采购到几台光刻机用于产品研发测试了?分别都是哪...

发布时间:2024-12-07

投资者提问:

请问子公司直到现在从未采购到几台光刻机用以产品研发的测试了?分别都是哪种型式的?后续还有哪些反应过程采购计划?

董秘看看(晶瑞电材SZ300655):

尊敬的投资者您好!子公司近来已购得KrF光刻机一台,可用以KrF反应过程的曝光的测试,此前,子公司从未购得用以负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机,再加之此次购得的KrF光刻机,子公司从未到位5台光刻机。谢谢您对我子公司的关注与支持!

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